電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)通過電感耦合等離子體(ICP)將樣品電離，再利用質譜(MS)分離并檢測離子，實現元素種類與含量的精準測定。

　　電感耦合等離子體質譜儀的工作流程可拆解為樣品引入→等離子體離子化→離子傳輸→質量分析→檢測計數五個關鍵步驟，核心是通過 “等離子體產生離子 + 質譜篩選檢測” 實現元素分析：

　　1.樣品引入：液體樣品(如消解后的水樣、食品浸出液)通過霧化器轉化為氣溶膠，由載氣(通常為氬氣)帶入等離子體炬；固體樣品需先通過微波消解、酸溶等前處理轉化為液體。

　　2.等離子體離子化：樣品氣溶膠進入電感耦合等離子體(ICP)——這是一個由高頻電流激發氬氣形成的高溫等離子體炬，在此過程中，樣品分子被徹*解離，元素原子被電離為帶正電的離子。

　　3.離子傳輸：等離子體中的離子通過采樣錐進入真空系統，再經截取錐篩選后，由離子透鏡聚焦成離子束，去除中性粒子和光子干擾，然后進入質量分析器。

　　4.質量分析：核心部件為四極桿質量分析器，部分機型采用飛行時間(TOF)或扇形磁場分析器。四極桿通過調節射頻電壓，僅允許特定質荷比的離子通過，實現對不同元素的篩選。

　　5.檢測計數：通過的離子到達檢測器(如電子倍增器)，離子信號被轉化為電信號，經放大和數據處理后，以 “計數率” 反映離子濃度，最終通過標準曲線換算為樣品中元素的實際含量。